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基材硬度和涂层厚度对AlCrN多元复合纳米硬质涂层硬度的影响
Effect of Substrate Hardness and Coating Thickness on the Hardness of AlCrN
姜虎森,柳 琪,王 进,王小连,周 鹏,孙树峰
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作者单位:(1.青岛理工大学 机械工程学院,山东 青岛 266520)
中文关键字:阴极多弧离子镀;膜基结合力;涂层硬度;耐磨性
英文关键字:
中文摘要:采用真空阴极多弧离子镀技术制备AlCrN多元复合纳米硬质涂层,利用洛氏硬度计、划痕仪、HV显微硬度计、球磨仪、扫描电子显微镜、能谱仪及X射线衍射仪检测并分析了涂层膜基结合力、显微形貌、相结构以及基体硬度、涂层厚度对涂层硬度的影响。结果表明:涂层以AlCrN/CrN结构沉积,随着涂层厚度的增加,膜基结合强度提高。涂层表面成波纹状,有少数大颗粒,涂层内部主要呈NaCl结构,含有大量面心立方的c-CrN相和c-AlN相,并呈柱状形式生长,择优取向均为(200)。同等基体硬度时,涂层厚度的增加有利于涂层硬度的提高,3.5~5.0 μm属于最佳涂层厚度。同等涂层厚度时,涂层硬度随着基体硬度的增加而增加,当涂层厚度低于4.0 μm,基材硬度是影响涂层塑性变形抗力的主要因素。
英文摘要:
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